王守武先生自1950年回國後致力于我國半導體器件和集成電路事業40余年，我國微電子學研究與開發的各個曆程無不留下他的足迹，他爲我國半導體事業作出了卓越的貢獻。

他是我国半导体微电子和光电子科技事业的奠基人之一。他亲手研制成功了我国第一个锗合金管，全功能4K和16K位DRAM等。他在国内最早积极倡导建立超净实验室，并率先在中國科學院半导体研究所自主建立了一条超净线。他最早提出研究和提高LSI成品率问题，并在半导体所以4K位MOS动态随机存储器成品率的提高作出了示范。他十分重视半导体设备的研究，亲自指导设计了光刻机和电子束曝光机，并积极开展了电子束、X射线曝光、干法显影、离子束改性等基础工艺的预先研究。他多次呼吁在引进消化外国技术的基础上加强自主的研究与开发，以形成植根于中国的1C产业。他号召有应用价值的科研成果一定要转化成为产业，并努力将4K和16K DRAM成果从研究所推广到工厂。他十分注意创新工作，对新的思想和新的工艺他都给予热情的支持。他爱护、关心和积极培养中、青年科技队伍的成长，大胆放手让中、青年人挑重担，并给予诚挚的指导和帮助。他那学识渊博、坚韧不拔、实事求是、严肃认真、言传身教、一丝不苟的优秀品质，永远是我们学习的榜样.

1978年邓小平同志接见出席全国科学规划会议的全体代表时，要求大规模集成电路尽快赶上世界先进水平。此后在中國科學院半导体研究所掀起了攻克“4K位MOS动态随机存储器”难关的高潮。我有幸能在王守武先生的直接领导下参与这项光荣任务，聆听他的教诲。从他的言行所学到的东西使我受益终生。作为项目负责人，他从一开始就提出了“不仅要研制成功样品，还要有一定的成品率”。当时我国LSI的成品率处于1-3%的低水平局面，他要求一定要打破这个僵局。他分析了成品率低下的种种原因，以严谨的科学作风解决了一个个影响成品率的问题。近百道工艺要稳定，工艺设备、材料、试剂、气体、净化环境等条件必须稳定。为此他亲自指导对化学试剂进行提纯，将扩散炉安装成双重保险，并24小时运行，以保证炉子的稳定和清洁。为了克服继电器由于打火、簧片氧化造成接触不良等问题，他亲自在簧片上涂焊上白金，使之长期稳定工作.这样的例子不胜枚举。就这样，尽管当时用的全部是国产设备、材料、试剂，自主研究开发的电路设计和工艺技术，连续十批投片达到了平均28%的好成绩，并将该成果转移到上海元件五厂。随后用一年的时间又研究成功16K位DRAM,并继续将该成果转移到上海元件五厂。在这一年多的时间里，在他的带领下不但超额完成了任务而且培养了一支作风严谨，训练有素，能够攻坚的科技队伍。由此他获得了全国劳动模范的光荣称号。

王守武先生自从中國科學院微电子中心成立以来，一直担任微电子中心名誉主任，从中心的大政方针、课题的研究方案，技术路线到设备调试，他都提出独到的见解，他以对微电子中心高度的责任感和无限的深情关怀着中心的一草一木。

王先生實事求是、嚴謹的科學態度和對微電子事業高度的責任感貫穿在他的一言一行中。例如，爲了中心超淨廠房的恒溫恒濕條件，保證大規模集成電路的成品率，他堅持要將送入超淨室的空氣先冷凝到5℃去濕，然後再加熱至22℃送入室內。因此先要致冷後再燒鍋爐加熱，微電子中心當時的一些領導人認爲浪費能源，但是王先生要求我堅決按科學規律辦事。因此自1988年開始微電子中心淨化廠房一直保持了恒溫恒濕的優良生産條件，使開發線不斷有新産品出現，成品率逐年增高、效益也與日俱增。

王先生主張對每一台舊設備都要挖掘潛力發揮其最大的效能.中心有一台陳舊的矽片減薄機，因加工方式落後經常碎片,王先生知道後到車間親自操作，找出了碎片的原因並提出了解決方案，使這台舊機器至今仍處于良好的工作狀態。

王先生雖已年近花甲，但思想仍十分先進，從不保守。早在1978年半導體所的超淨線領導機構重新改組，由王先生挂帥，盡管當時尚沒有改革的大環境，但他克服了重重阻力，實施“層層點將，優化上崗，富余人員下崗”等改革措施，取得了良好的效果。他十分重視培養年輕科技骨幹隊伍，要求給青年人以展示才能的舞台，爲此他多次找朱亞江同志談話作思想工作，動員他承擔設計室主任的重擔，並在各種場合支持青年人的創新思想和改革行動。總之，在我擔任微電子中心領導職務期間，王先生的言傳身教給了我極大的支持和鼓勵。我的各種思想活動也只有向王先生傾訴，他對我的每一次諄諄教導就像一股股暖流，使我有了必勝的信心，在最困難的時候感覺有了依靠。他在出國探親期間仍來函對工作提出中懇的意見。王先生以他強烈的愛國熱忱、淵博的知識、求實的學風、坦蕩的胸懷和對我國微電子事業的無限深情，成爲我們中、青年知識分子的楷模，永遠是我們學習的榜樣。

王守武先生现在仍孜孜不倦地学习新的科技知识，他亲自改装和修理计算机、摄像机和直流电源等，他亲自编写计算机源程序，他对计算机的熟悉程度受到大家的赞赏，中年知识分子纷纷向他求教。他拥护党中央的改革开放主张，并身体力行，贯彻到中國科學院微电子中心的各项日常工作中去。他时常被邀请向青年们作报告，每一个报告都是一次生动的爱国主义教育, 他用自己的亲身经历和感受鼓励中青科技人员投身到我国微电子事业中。在他的教诲下一批批中青年技术和管理骨干成长起来。中國科學院微电子中心多年来所获得的各项成绩，都凝聚着王守武先生的心血。他对我国微电子事业所做出的丰功伟绩像他设计的微电 子中心大楼一样永远屹立在人们心中。

出處：《王守武院士科研活動論著選集》第15-16頁，科學出版社1999年11月出版

簡評：本文描寫了王守武先生自1950年回國後致力于我國半導體器件和集成電路事業的各種事迹。從親自研發産品、提升成品率並將産品轉移到生産中、親自指導設計相關半導體設備、開展各種基礎工藝預研，到重視培養青年科技骨幹隊伍、給與青年人以指引、培養作風嚴謹、訓練有素、能夠攻堅的隊伍，王守武先生淵博的知識、求實的學風、坦蕩的胸懷、堅韌不拔、一絲不苟、言傳身教、親力親爲的優秀品質，對微電子事業的深情與熱忱，值得我們所有科研人員學習。