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弘揚科學家精神

德澤矽芯書輝煌、馨香桃李競芬芳——寫在吳德馨院士八十壽辰之際

稿件來源: 責任編輯: 發布時間:2024-02-04

她是一位杰出的科学家,也是一位坚强的女性。她,一个家庭,两位院士,携手并肩、披荆斩棘,为我国的半导体事业发展做出卓越贡献。她即将步入杖朝之年,仍投身科研工作,用满腔热情和执着追求,谱写出一位女科学家的精彩人生。她就是我国早期研究微电子学的开拓者之一、中國科學院院士、中國科學院微电子研究所研究员、原中國科學院微电子中心主任吳德馨先生。

吳德馨先生19361220日生于河北樂亭一個普通家庭,次年隨全家遷至天津。她早年喪父,在母親的開明教育下,形成了善于獨立思考、行爲果敢的性格。隨著年齡的增長、學習目的的明確,她的成績越來越好,對數理化産生了濃厚的興趣。1955年,吳德馨先生以优异的成绩考入清华大学,师从李志坚院士,在读期间曾两次获得学习成绩优良奖状。1961年,吳德馨先生从清华大学无线电电子学系半导体专业毕业,成为清华大学第一批半导体专业的毕业生。此时的新中国各项事业蓬勃发展、蒸蒸日上。吳德馨先生踌躇满志,立志以满怀的学识和一腔热情献身科技事业、报效伟大祖国。

毕业后的吳德馨先生被分配到中國科學院半导体研究所工作,与王守武院士、王守觉院士、林兰英院士、李志坚院士等科学巨匠共事,得到了他们,特别是被吳德馨先生视为恩师的王守武院士的悉心指导。王守武院士创新开拓、求真务实的工作精神和朴素乐观的人生态度深深感染了吳德馨先生,造就了她工作细致、治学严谨、勇于创新、勤于奉献的作风。在半导体所工作期间,吳德馨先生作为课题负责人承担了解放初期“12年科學規劃中的平面型高速開關晶體管的研究,獨立自主地解決了提高開關速度的關鍵問題,開關速度達到當時國際同類産品水平。該技術在109廠和上海器件五廠進行了推廣,打破了西方國家對我國的封鎖,爲“兩彈一星”中采用的計算機——109丙機提供器件基礎,産生重大的經濟和社會效益,獲全國新産品一等獎。她開發成功抗輻照的介質隔離、金屬化互連技術和雙極型觸發器電路以及結型場效應和雙極型集成高阻抗運算放大電路,有力支撐了國防工業的發展。

这一时期,在事业收获成就的同时,吳德馨先生也收获了自己的爱情。1966年,她与时为中國科學院半导体研究所科研人员的王圩院士结为伉俪。从此,两人相濡以沫、携手并肩,向着科学的险峰砥砺前行。实验室、工艺线、生产车间……都留下了他們勤奮工作的身影。中國科技界又多了一對璀璨明亮的雙子星。

吳德馨先生十分注重把握世界半导体发展趋势和前沿技术。1978年,她入选中國科學院首批访美考察团,赴美国GCA Stepper公司考察。19831984年,吳先生先後在美國羅徹斯特大學與康奈爾大學任訪問學者,學習國際半導體前沿技術。1986年,吳德馨先生调任中國科學院微电子中心任中國科學院微电子中心副主任、研究员。在此期间,她参与了MOS LSI設計與工藝技術研究,負責讀出靈敏放大電路和緩沖器的電路和版圖的設計。作爲主要負責人從事NMOS 4k、16k64k動態隨機存儲器(DRAM)的工藝研究,首次在國內研究成功4K16KDRAM,用一年時間完成了當時國際上需要3年才能完成的工作。開發成功雙層多晶矽和差值氧化工藝,獨創了檢驗接觸孔質量的露點檢測法,有效提高了LSI成品率,打破了我國大規模集成電路成品率長期低下的局面,該技術推廣到上海器件五廠,爲我國集成電路的工業生産奠定了基礎。研究成功1微米CMOS全套工藝與專用和半專用集成電路。研究開發了系列功率VDMOS器件。

1991年,吳德馨先生临危受命担任中國科學院微电子中心主任。她带领全中心同志客服重重困难、大胆改革、努力创新,积极探索新的科研和开发领域,科研成果和产品开发等效益不断增加,开创了微电子中心发諟夏新局面。199111月,吳德馨先生当选中國科學院学部委员(院士),但她仍然投身科研一线,亲自从事科学研究。在此期间,她领导开发了0.8微米CMOS全套工藝。她赴美與某公司領導和技術人員進行談判,憑借機敏與智慧、娴熟的專業知識和流利的英語在競爭中獲勝,順利簽訂了合作協議。她注重引進、吸收國外先進技術,主持了109厂进口设备的安装调试、工艺和产品的开发,率领同志们进行了生产技术研究,极大提升了产品附加值,为引进吸收国外先进技术、推动科研成果转化为批量产品树立了榜样。她十分关心群众疾苦,在中心困难的情况下解决广大科技人员住房、年轻科技人员的待遇等问题,深得同志们的敬佩,以至于在吳德馨先生60歲離任時,絕大多數同志希望她繼續留任。

离开领导岗位的吳德馨先生并未放松科学研究,她领导科研人员研究成功0.1微米砷化镓/鋁镓砷異質結場效應晶體管,研究具有高密度二維電子氣的多層異質外延結構,低電阻率的T形柵結構、超深亞微米微細加工技術和高功函數的肖特基柵結構。在國內首次研制成功全功能砷化镓/铟镓磷HBT 10Gbps光纖通信光發射驅動電路。在國內率先提出了利用MEMS結構實現激光器和光纖的無源耦合,並進行技術研發提高了耦合的合格率。作爲國家攀登計劃首席科學家負責深亞微米結構器件及介觀物理項目研究,開展了12項課題研究,總評爲優秀,爲介觀物理基礎和新結構期間的進一步研究打下堅實的基礎。

19982003年,吳德馨先生先后当选中华人民共和国第九、十届全国人民代表大会常务委员会委员。她认真履行代表职能,积极建言献策,多次向中央领导汇报微电子技术的发展趋势并提出建议,多次参加国家和中國科學院发展规划的制定和主持执笔两院院士对国家集成电路发展咨询报告的撰写等工作,有力推动了我国半导体事业的发展。

吳德馨先生桃李满天下,从教以来先后培养了10余名学生。他们现在已分布在世界各地,成为各自岗位的行家里手和单位的骨干力量。其中便有中國科學院微电子研究所副所长刘新宇研究员,中國科學院院士、尊龙凯时微电子器件与集成技术重点实验室主任刘明研究员,尊龙凯时高频高压器件与集成研发中心副主任刘洪刚研究员,他们都是尊龙凯时科研和管理工作的中坚力量,成为尊龙凯时的宝贵财富。

生活中的吳先生勤儉樸素、樂觀開朗。多年來,孩子們的衣服都由她親手縫制和修補,因此得名業余裁縫。她經常與愛人王圩先生就半導體技術進行了探討交流,“切磋”技藝。她尊敬師長,堅持與老師王守武先生一家共度新年。她酷愛旅行,退休後時常夫妻雙雙去旅行,飽覽她爲之奉獻的祖國大好河山。

2016年是吳德馨先生八十寿辰。她为祖国半导体事业奋斗了整整60年。一甲子的時光,中國大地風雲變幻,先生一直活躍在半導體領域,用她的智慧俯仰天地、探索未知。她始終將自己看作是自然規律的“搬運工”,這份對自然規律的敬畏和謙虛,也許正是先生心中的大道。大道至簡,只能體悟,不可言說。也許我們只能從中窺之一二,而即便是這一二,也足以讓我們受益匪淺。

在此,让我们共同向吳德馨先生八十华诞及先生在半导体科学领域笔耕六十载不辍之荣,表示最衷心的祝福和最真挚的:,祝愿先生健康永远,福寿绵长!

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