北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心成立于2016年12月，依托于中國科學院微电子研究所，共建单位为北京泰龙电子技术有限公司。

　　工程中心的研發方向主要圍繞微納加工技術，薄膜生長工藝、刻蝕工藝以及微納加工的儀器設備開發。主要研究內容包括：

　　1、重點開展等離子體加工技術，研究薄膜生長及圖形化刻蝕工藝。

　　2、重點開展等離子體加工設備，包括原子層沈積系統、等離子體化學氣相沈積系統、濺射系統、激光脈沖沈積系統、離子體刻蝕機。並針對現階段多樣化的工藝需求，開展多種工藝一體化設備研究，如二維材料生長及器件一體化儀器，解決微電子科學及微納制造技術中所涉及的核心問題。

　　3、培育和參與國內微電子設備企業，持續提供創新核心技術和源頭的創新能力，培養微納加工人才，爲我國的微電子産業裝備技術自主能力提升奠定技術基礎。

　　工程中心依托強大的科研實力和人才技術優勢，遵循市場導向，致力于推動科研成果的落地和産業化，已經爲企業和科研院所提供較高性價比的微納加工設備，通過與高校、院所及企業的合作、聯合，建立産學研用聯盟，對發展我國自主知識産權的微電子關鍵裝備提供了技術儲備，對集成電路産業和相關學科的發展有重大的意義。