獲獎题目: | |
獲獎编号: | 2010電-1-001 |
獲獎时间: | 2011年11月28日 |
獲獎名称: | 微納結構“自上而下”制備核心技術與集成應用 |
主要完成人: | 刘 明、谢常青、陈宝钦、卞福良、龙世兵、田 炜、商立伟、朱效立、姬濯宇、沈俊然、王 琴、李 友、叶甜春、段小楠、徐 佳 |
完成單位: | 中國科學院微电子研究所、无锡华润微电子有限公司 |
成果介紹: | |
獲獎类别: | 北京市科學技術獎一等獎 |
獲獎等级: | 一等獎 |
授獎部門: | 北京市人民政府 |
開始日期: | |
結束日期: | |
登記人: | |
科研産出