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當前位置 首頁 科研工作 科技獎勵
獲獎题目:
獲獎编号:
獲獎时间: 2009年12月23日
獲獎名称: 100nm高密度等離子刻蝕機研發與産業化
主要完成人:
完成單位: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司,中國科學院微电子研究所,清华大学,北京大学
成果介紹:
獲獎类别: 國家科學技術進步二等獎
獲獎等级:
授獎部門: 中華人民共和國國務院
開始日期:
結束日期:
登記人: