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獲獎题目:
獲獎编号:
獲獎时间: 2014年1月10日
獲獎名称: 高精度微納結構掩模制造核心技術
主要完成人: 劉明、谢常青、叶甜春、陈宝钦、卞福良、龙世兵
完成單位:
成果介紹:
獲獎类别: 2013年國家技術發明二等獎
獲獎等级:
授獎部門: 中華人民共和國國務院
開始日期:
結束日期:
登記人:
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