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獲獎题目:
獲獎编号:
獲獎时间: 2017年
獲獎名称: 22-14納米集成電路器件工藝先導技術
主要完成人: 葉甜春，徐秋霞，陳大鵬，殷華湘，霍宗亮，張衛
完成單位: 中國科學院微电子研究所、武汉新芯集成电路有限公司、复旦大学
成果介紹:
獲獎类别: 2017年國家技術發明獎二等獎
獲獎等级:
授獎部門: 中華人民共和國國務院
開始日期:
結束日期:
登記人:
中國科學院微电子研究所版权所有 邮编：100029
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