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獲獎题目:
獲獎编号:
獲獎时间: 2017年
獲獎名称: 原子層沈積系統的開發與應用
主要完成人: 夏洋、李超波、孫清清、陳波、萬軍、李楠
完成單位: 中國科學院微电子研究所、嘉兴科民电子设备技术有限公司、复旦大学
成果介紹:
獲獎类别: 2017年北京市科學技術獎三等獎，2017年中國電子學會科學技術獎技術發明類一等獎
獲獎等级: 三等獎
授獎部門: 北京市人民政府
開始日期:
結束日期:
登記人:
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