獲獎时间 | 獲獎名称 | 獲獎类别 | 完成人(主要參加者) |
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1991年 | 相關中頻積累器(含90020109) | 1991年中國航空航天工業部科學技術進步二等獎 | 陳寶欽 |
1990年 | PI-A型耐熱光敏樹脂及光刻工藝研究 | 1990年,院科技進步三等獎 | 韩阶平 李佐邦 侯豪情 白宗武 徐卫东 |
1990年 | FD-2型RIE通用刻蝕機刻蝕機研制與超精細圖形刻蝕工藝研究 | 1990年中國科學院科技进步二等奖 | 高士平 徐维江 岳惠武 程秀玲 石西增 |
1990年 | CMOS門陣列設計工具的開發 | 1990年中國科學院科技进步二等奖 | 夏武颖 童云 卢勤 |
1990年 | 1微米LSI中TiSi2TaSi2/N+多晶矽複合結構RIE腐蝕研究 | 1990年,院科技進步三等獎 | 徐秋霞 周锁京 赵玉印 冯淑敏 |
1989年 1990年 | 康發系列CAE工作站的開發及實用化 | 1989年中國科學院科技进步一等奖;1990年国家科委三等奖 | 联合攻关项目,与中科院软件中心合作,本单位獲獎人员夏武颖、曾学勤、许新华 |
1989年 | 3微米LSI中試線的建設 | 1989年,院科技進步二等獎 | 王守武 刘茂章 周丰年 吳德馨 马文杰 莫大康 周继红 王国民 张藏敬 |
1989年 | 1-1.5微米成套工藝開發及相應水平大規模集成電路的研究 | 国家计委“七五”国家重点科技攻关專題优异成绩表彰 | 微電子中心 |
1988年 | 0.5微米粒子10個/英尺3裝配式潔淨室 | 國家計委國家科技成果獎 | 河北工学院、微電子中心 |
1988年 | 半導體工藝和器件的模型參數優化提取和統計模擬(共包括三個軟件) | 1988年中國科學院科技进步三等奖 | 夏武颖 郑 颖 曾学勤 许新华 张力 周红 |
1986年 | 集成電路大生産試驗 | 国家计委科技攻关成绩显著表彰;1986年中國科學院“六五”科技攻关重要贡献表彰 | 中國科學院109厂 |
1985年 | “七五七”工程千萬次計算機 | 1985年國家科學技術進步一等獎 | 何晉等 |
1985年 | 大規模集成電路制造及測試設備 | 1985年機械工業部嘉獎 | 中國科學院109厂 |
1982年 | KHA-75型半自動接近接觸式光刻機 | 1982年第一機械工業部科技工作一等獎 | 中國科學院109厂 |
1978年 | 109乙晶體管通用數字電子計算機及其軟件系統 | 1978年中國科學院重大科技成果奖;1978年全国科学大会表彰 | 中國科學院109厂 |
1978年 | 光刻技術設備的應用 | 1978年中國科學院重大科技成果奖 | 中國科學院109厂 |
1978年 | ECL-D系列超高速邏輯電路 | 1978年中國科學院重大科技成果奖;1978年全国科学大会表彰 | 中國科學院109厂 |
1978年 | 抗飽和TTL-E系列高速邏輯電路 | 1978年中國科學院重大科技成果奖;1978年全国科学大会表彰 | 中國科學院109厂 |
1978年 | 低功耗TTL-F系列邏輯電路 | 1978年中國科學院重大科技成果奖;1978年全国科学大会表彰 | 中國科學院109厂 |
1978年 | 半導體集成電路生産線專用局部空氣淨化設備 | 1978年中國科學院重大科技成果奖;1978年全国科学大会表彰 | 中國科學院109厂 |
科研工作