A CMOS MEMS IR device based on double-layer thermocouples--中國科學院微电子研究所

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論文编号:	1725110120160073
第一作者所在部門:
論文题目:	A CMOS MEMS IR device based on double-layer thermocouples
論文题目英文:
作者:
論文出处:
刊物名稱:	Microsystem Technologies
年:	2016
卷:
期:	22
頁:	1163
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