CMOS MEMS INFRARED SOURCE BASED ON BLACK SILICON--中國科學院微电子研究所

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論文编号:	1725110120160047
第一作者所在部門:
論文题目:	CMOS MEMS INFRARED SOURCE BASED ON BLACK SILICON
論文题目英文:
作者:	劉衛兵
論文出处:
刊物名稱:	IEEE NEMS2016
年:	2016
卷:
期:	1
頁:	947
聯系作者:	明安傑
收錄類別:
影響因子:
摘要:
英文摘要:
外單位作者單位:
備注: