Fabrication and characterization of SiO2/Si heterogeneous nanopillar arrays--中國科學院微电子研究所

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論文编号:	1725110120160038
第一作者所在部門:
論文题目:	Fabrication and characterization of SiO2/Si heterogeneous nanopillar arrays
論文题目英文:
作者:	毛海央
論文出处:
刊物名稱:	Nanotechnology
年:	2016
卷:	27
期:	27
頁:	305301-1
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