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當前位置 首頁 科研工作 科研産出 專利
專利名称: 一種制備納米器件的方法
專利类别: 发明專利
申請號: 2013104917693
申請日期: 2013-10-18
專利号: 201310491769.3
第一發明人: 龙世兵;孙鹏霄;刘琦;吕杭炳;劉明;张美芸;王国明;李阳;王明;许晓欣;刘若愚;李丛飞;刘红涛
其它發明人:
国外申請日期:
國外申請方式:
專利授權日期:
繳費情況:
實施情況: 授權
專利证书号: 201310491769.3
專利摘要:
其它備注: 研究生5,微電子重點實驗室