專利名称: | 一種制備納米器件的方法 |
專利类别: | 发明專利 |
申請號: | 2013104917693 |
申請日期: | 2013-10-18 |
專利号: | 201310491769.3 |
第一發明人: | 龙世兵;孙鹏霄;刘琦;吕杭炳;劉明;张美芸;王国明;李阳;王明;许晓欣;刘若愚;李丛飞;刘红涛 |
其它發明人: | |
国外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權日期: | |
繳費情況: | |
實施情況: | 授權 |
專利证书号: | 201310491769.3 |
專利摘要: | |
其它備注: | 研究生5,微電子重點實驗室 |
科研産出