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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 高建峰
  • 性別： 男
  • 職稱： 副研究員
  • 職務： 
  • 學曆： 
  • 電話： 010-82995784
  • 傳真： 010-82995783
  • 電子郵件： gaojianfeng@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 集成電路先導工藝研發中心
  • 通訊地址： 集成電路先導工藝研發中心

    簡　　曆：

  • 教育背景

    2002/9 --- 2005/4 北京科技大学 材料学 硕士

    1998/9 ---2002/7 中国矿业大学 材料科学与工程 本科

    工作簡曆

    2012.05 --- 至今 中國科學院微电子研究所

    2005.04 --- 2012.4 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

    社會任職：

    研究方向：

  • 先進IC制造中新材料和新結構器件的薄膜工藝研發

    承擔科研項目情況：

  • 國家02科技重大專項，“極大規模集成電路裝備及成套工藝”子課題“22 nm平面器件”

    國家02科技重大專項，“極大規模集成電路裝備及成套工藝”子課題“16/14nm FinFET器件”

    國家02科技重大专项的子課題：面向45-22nm 銅互連的PVD設備的工藝模塊開發

    國家重大科技专项， ET-SOI器件與關鍵工藝研究

    中國科學院项目: “功能器件晶圓級檢測與性能表征”

    此外，承擔多項企業重大橫向開發項目

    代表論著：

    專利申请：

    獲獎及荣誉：

  • 2013年度微電子研究所先進工作者

    2015年度微電子研究所優秀員工

    2016年度微電子研究所優秀員工

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