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  • 姓名： 霍樹春
  • 性別： 男
  • 職稱： 副研究員
  • 職務： 
  • 學曆： 博士
  • 電話： 
  • 傳真： 
  • 電子郵件： huoshuchun@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光電技術研發中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡　　曆：

  • 教育背景 

    2012.09-2017.01 天津大學儀器科學與技術專業，博士 

    2014.12-2015.11 奧地利林茨大學實驗物理研究所，聯合培養博士生
     
    工作簡曆

    2021.05-今 中國科學院微电子研究所，副研究員 

    2018.05-2021.04 天津大學精密儀器與光電子工程學院，博士後 

    2017.06-2018.4  成都工業學院機械工程學院，講師 

    2011.08-2012.02 北航電磁兼容技術研究所，軟件工程師

    社會任職：

  •  

    研究方向：

  •  集成電路光學測量技術及精密儀器

    承擔科研項目情況：

  • 1.国家重点研发计划课题 “基于光谱反射高深宽比结构深度测量系统及关键技术”，技术负责人；

    2.国家重点研发计划课题 “高空间分辨率超薄膜层结构测量技术与仪器模组开发”，技术负责人； 

    3.國家重大科研儀器研制項目“二維材料的有機分子精准界面調控與器件集成一體化系統”，骨幹； 

    4.教育部全国优秀博士学位論文专项“基于反射差分术和全穆勒矩阵偏振术的微区光学特性测量方法与系统”，骨干； 

    5.國家青年科學基金“微結構表面應力的反射差分光譜成像：技術實現與評價方法”，骨幹。

    代表論著：

  •  發表SCI論文13篇，一作/通訊8篇。

    1.   S Huo, H Wang, C Hu*, C Yao, W Shen, X Hu, and X Hu. Measuring the Multilayer Silicon based Microstructure Using Differential Reflectance Spectroscopy. Optics Express, 2021, Vol. 29 No. 3. 

    2.    C Yao, S Huo*, W Shen, Z Sun, X Hu, X Hu and C Hu*. Assessing the quality of polished brittle optical crystal using quasi-Brewster angle technique. Precision Engineering, 2021, Vol. 72, P184-191. 

    3.   Chunguang Hu, Hao Wang, Yongtao Shen, Shuchun Huo*, Wanfu Shen, Xiaodong Hu and Xiaotang Hu, Imaging layer thickness of large-area graphene using reference-aided optical differential reflection technique. Optics Letters, 2020, Vol. 45 No. 15.  

    4.   Chunguang Hu, Hao Wang, Shuchun Huo*, Wanfu Shen, and Xiaotang Hu, Rapid reflectance difference microscopy based on liquid crystal variable retarder, Journal of Vacuum Science & Technology B 37, 050604 (2019).  

    5.   S Huo, C Hu, W Shen, et al. Normal-incidence reflectance difference spectroscopy based on a liquid crystal variable retarder[J], Applied optics, 2016, 55(33): 9334-9340.  

    6.   Huo S, Hu C, Li Y, et al. Optimization for liquid crystal variable retarder-based spectroscopic polarization measurements[J]. Applied optics, 2014, 53(30): 7081-7086.  

    7.   霍樹春, 胡春光, 沈萬福, 等. 基于單偏振器的液晶相位延遲器光電特性[J]. 紅外與毫米波學報, 2016 (2016 年 01): 68-71, 77.  

    8.   霍樹春, 胡春光, 沈萬福, 等. 基于反射差分顯微術的有機薄膜空間均一性研究 [J]. 紅外與毫米波學報, 2017 (2017年 04): 237-240.  

    9.  C Hu, S Huo, W Shen, et al. Reflectance difference microscopy for nanometer thickness microstructure measurements [J]. Journal of Microscopy, 2018, Vol. 270, Issue 3, P318-325.  

    10.  Zhang, L., Huo, S., Fu, X., Hohage, M. and Sun, L., Kinetic Barrier against Standing Up of Pentacene Molecules Upon a Pentacene Monolayer. Phys. Status Solidi RRL, 12(8): 1870325, 2018. 

    專利申请：

  •  申请中国專利15項，授權3項。

    1.  霍樹春，胡春光，王浩，沈萬福，姚程源，曲正，武飞宇，胡晓东，胡小唐，用于纳米厚度SiO2厚度的差分反射光谱测量方法，中国发明專利，2019113517057，授權； 

    2.  霍樹春，胡春光，王浩，胡晓东，胡小唐，测量纳米薄膜厚度的显微式差分反射光谱测量系统及方法，中国发明專利，2018115537730，授權； 

    3.  胡春光，孙兆阳，霍樹春，沈萬福，谢鹏飞，胡晓东，胡小唐，反射差分光学测量装置，实用新型專利，ZL 2018208170593，授權。

    獲獎及荣誉：

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