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  • 姓名： 蘇佳妮
  • 性別： 女
  • 職稱： 高級工程師
  • 職務： 
  • 學曆： 碩士
  • 電話： 82995874
  • 傳真： 
  • 電子郵件： sujiani@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光刻技術總體部
  • 通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡　　曆：

  • 教育背景

    2003.09-2007.6  長春理工大學，電子科學與技術專業，本科 

    2007.9-2010.4   長春理工大學，光學工程專業，碩士 

    工作簡曆 

    2010.4-2018.7 中國科學院光电研究院，工程师 

    2018.7-2018.11 中國科學院光电研究院，高級工程師 

    2018.11-至今 中國科學院微电子研究所，高級工程師 

    社會任職：

    研究方向：

  • 光刻技術、光學工程

    承擔科研項目情況：

  • 作爲課題負責人，承擔國家科技重大專項、中科院項目、企業橫向等科研任務6項。

    代表論著：

  • [1] Jiani Su, Zengxiong Lu, Yuejing Qi. Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE, 2016, 97801N. 

    [2] Jiani Su, Yuejing Qi, Yu Wang. Design of digital light processing mini-projection lens, Proc. SPIE, 2019, 108381F.

    專利申请：

  • 申请发明專利19項, 申請實用新型18項，代表性專利有： 

    [1]一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法，发明，專利号ZL201410185411.2 

    [2]一种光学系统波像差测量装置与测量方法，发明，專利号ZL201410373440.1 

    [3]一种内窥镜用摄像适配器光学系统，发明，專利号ZL201410184450.0 

    [4]一种高分辨率低畸变微型投影镜头，发明，專利号201810144424.3 

    [5]投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法，发明，專利号201810416484.6

    獲獎及荣誉：

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