教育背景
1997.09-2001.06 長春理工大學，光學技術與光電儀器，本科
2004.09-2006.06 長春理工大學，光學工程，碩士研究生
工作背景
2001.07-2002.10 新�？怂梗ㄉ钲冢┕怆娡ㄓ嵱邢薰荆こ處�
2006.07-2012.05 北京中科科儀股份有限公司，工程師
2012.05-2017.03 中科院微電子研究所，工程師
2019.01-至今 中科院微电子研究所，高級工程師
[1]定容法正壓漏孔校准裝置.真空科學與技術學報. 2014.34(6)
代表性專利：
[1]一种气体分析装置及方法，发明，專利号: 201310430575.2
[2]一种集光系统防污染保护装置，发明，專利号: 201210505346.8
[3]一種用于EUV真空环境中的电子学装置，发明，專利号: 201310172932.X
[4]一种光谱椭偏测量装置及方法，发明，專利号: 201310436198.3
[5]一种分子泵轴承组件，发明，專利号:200910089537.9
[6]分子泵供油锥及供油系统，发明，專利号:201020608645.0
[7] 用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机，发明，專利号:201911212670.9
[8] 用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机，发明，專利号:201911212715.2s
[9]反射式光学系统及其装调测试方法，发明，專利号:201911212108.6
人才隊伍