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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 丁金濱
  • 性別： 男
  • 職稱： 高級工程師
  • 職務： 
  • 學曆： 碩士
  • 電話： 010-82178623
  • 傳真： 
  • 電子郵件： dingjinbin@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光電研發中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡　　曆：

  • 教育背景

    2006年04月畢業于北京航空航天大學航空宇航推進理論與工程專業，碩士研究生學曆 

    工作簡曆 

    2002.07-2003.06  中國兵器工業第五設計研究院  助理工程師 

    2006.04-2018.10  中國科學院光电研究院光电工程部  助理工程師-工程師-高級工程師 

    2018.11-今      中國科學院微电子研究所光电研发中心  高級工程師 

    社會任職：

    研究方向：

  • 精密儀器與機械、准分子激光技術、光電測量技術

    承擔科研項目情況：

  • 1. 248nm KrF光刻機曝光光源開發 

    2. 40W 4KHz ArF曝光光源産品開發 

    3. 浸沒式曝光光源研制與小批量産品生産能力建設

    代表論著：

  • 1. 高重頻准分子激光器中放電沖擊波特性的實驗研究, 中國激光, 2019 

    2. ANSYS Workbench 18.0有限元分析案例詳解, 清華大學出版社, 2019 

    3. Corrosion Behaviors of the Copper Alloy Electrodes in ArF Excimer Laser Operation Process, High Power Laser Science and Engineering, 2017

    專利申请：

  • 获授权国际專利2项，申请国内发明專利三十余项，其中获得授权21項，部分如下： 

    1. 激光器放電腔的六自由度調節機構, CN103269009B  

    2. 一種准分子激光器用貫流風機葉輪, CN102777416B  

    3. 基于改進的貫流風機葉輪的單腔雙電極放電腔, CN103151679B 

    4. 一種准分子激光器高純工作氣體配送系統及方法, CN105846290B 

    5. 雙電極放電腔的導流裝置及應用其的放電腔、准分子激光器, CN102969645B

    獲獎及荣誉：

  • 1、第十七届中国專利奖优秀奖，中华人民共和国知识产权局，2015年12月 

    2、第四届北京市发明專利奖三等奖，北京市人民政府，2017年02月 

    3、科技成果转化特等奖，中國科學院北京分院，2015年12月
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