1964年4月出生于江西豐城，微電子科學與技術專家。1985年本科畢業于合肥工業大學，1988年獲該校碩士學位，1998年于北京航空航天大學獲博士學位。2000年被聘为中國科學院微电子研究所研究員和纳米加工与新器件集成技术研究室主任。2008年获得国家傑出青年基金资助。现任中國科學院微电子研究所研究員、博士生导师。2015年当选为中國科學院院士。
任中国真空学会第六届理事、中国材料学会青年委员会常务理事、同时担任中國科學院半导体研究所半导体材料重点实验室學術委員會委员和中國科學院物理所微加工实验室學術委員會副主任。
2004年獲國務院政府津貼；
國家技術發明二等獎3項（2013年（排名第1）、2007年（排名第2）、2005年（排名第4））；
國家科技進步二等獎1項（2009年（排名第4））；
中國電子學會科學技術獎自然科學類一等獎（2015年（排名第1））；
北京市科學技術一等獎2項（2010年（排名第1）、2003年（排名第10））；
北京市科學技術二等獎2項（2014年（排名第1）、2002年（排名第3））；
中國真空科技成就獎（2012年）；
中科院傑出成就獎（2014年（排名第8））。
人才隊伍