尊龙凯时 - 人生就是搏!

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  • 姓名： 李超波
  • 性別： 男
  • 職稱： 研究員
  • 職務： 研發中心主任
  • 學曆： 工學博士
  • 電話： 010-82995651
  • 傳真： 010-82995687
  • 電子郵件： lichaobo@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 微電子儀器設備研發中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡　　曆：

  • 教育背景 

    1997-2001 山东大学 通信与信息系统 理学学士 

    2002-2007 中國科學院微电子研究所 微电子学与固体电子学工学博士　　 

    工作簡曆 

    2007.07至今，在中國科學院微电子研究所工作，现为研究員、博士生导师、微電子儀器設備研發中心主任

    社會任職：

    研究方向：

  • 新原理納米加工工藝與裝備、MEMS制造與傳感技術、智能裝備 

    承擔科研項目情況：

  •  

    代表論著：

    專利申请：

    獲獎及荣誉：

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