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  • 姓名： 陳大鵬
  • 性別： 男
  • 職稱： 研究員
  • 職務： 
  • 學曆： 博士
  • 電話： 
  • 傳真： 
  • 電子郵件： dpchen@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 
  • 通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡　　曆：

    社會任職：

  •  

    研究方向：

  • 微細加工技術

    承擔科研項目情況：

  • (1)“九五”国家重点科技项目97－762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子專題97－762－03 “先进的深亚微米工艺技术”；

    (2)科學院重大創新方向性項目“電子束縮小投影光刻機（SCALPEL）”的子課題“投影電子束掩模研制”；

    (3)科技部863項目“多傳感器及陣列傳感器集成”；

    (4)科技部863項目“無掩模光刻系統”；

    (5)科技部863項目；

    (6)自然基金儀器專項“新型光學讀出非制冷紅外成像系統”；

    (7)自然基金“懸臂梁微尖端陣列器件加工及應用技術研究”；

    (8)中科院知識創新方向性項目。

    代表論著：

    專利申请：

    獲獎及荣誉：

  • 2003年“0.1-0.35微米集成電路關鍵技術研究”獲北京市科技進步一等獎

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