教育背景
1979.9-1983.6:西安交通大學半導體物理與器件,本科畢業,獲學士學位。
1985.9-1988.6:西安交通大學半導體物理與器件,研究生畢業,獲碩士學位。
工作簡曆
1997.4-今:中國科學院微电子中心(现改为中國科學院微电子研究所)从事集成电路工艺技术、电路设计、研究生管理及研究室管理工作,曾任高級工程師,光刻工艺负责人,研究室副主任兼任测试工艺负责人,硅工程中心产品部主任,项目/课题负责人,硅器件与集成技术研究室主任,所副总工程师、所第三届學術委員會主任。现任所总工程师、學術委員會副主任、學位委員會副主席、二级研究員、中國科學院大学教授、博士生导师、硅器件与集成技术研发中心总设计师。国家特殊津贴获得者。
北京电力电子学会理事,中國科學院硅器件技术重点实验室學術委員會委员,中國科學院大学微电子学院教学委员会委员。
1999.6-2000.6:香港科技大學,訪問學者。
1994.4-1997.3:北京精確微電子研究所,從事集成電路設計工作,任技術負責人。
1993.9-1994.3:北京盈發科技公司,從事集成電路設計工作,任集成電路部副經理。
1988.6-1993.8:北京燕東微電子聯合公司,從事集成電路工藝技術、新産品開發及生産線管理,曾任工程師,車間主任,主任工程師。
1983.7-1985.8:電子工業部878廠,從事集成電路工藝技術工作,擴散班長。
负责或参与了多项重要国家科技项目研究。 包括国家重大专项、973、863、國家自然基金等。
專著《抗辐射集成电路概论》,译著《半导体制造技术》、《芯片制造-半导体工艺制程实用教程》(第5版)、《功率半导体器件基础》、《空间单粒子效应》、《现代电子系统软错误》,参加《中国材料工程大典》第11卷第3章第3节的编写。发表学术論文100余篇。授权发明專利40余项。
“亞30納米CMOS器件相關的若幹關鍵工藝技術研究”獲2005年國家技術發明二等獎;
“高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究” 获2004年北京市科学技术一等奖;
“0.18/0.1微米CMOS集成電路關鍵技術研究”獲2004年北京市科學技術二等獎。
2016年获中國科學院“朱李月华优秀教师奖”。
人才隊伍