曾任:
國家重大科技攻關課題負責人;
攀登計劃首席科學家;
國家重大基礎研究顧問專家組成員;
中科院學部主席團成員;
中國電子學會常務理事;
半導體與集成技術分會主任;
第九屆、十屆全國人大常委會委員和教科文衛委員會委員等職務。
在國內率先提出了利用MEMS結構實現激光器和光纖的無源耦合。並研究成功工作速率達10Gbps的光發射模塊。其中“先進的深亞微米工藝技術及新型器件”獲2003年北京市科學技術一等獎。
獨立自主開發成功全套0.8微米CMOS工藝技術。獲1998年中科院科技進步一等獎和1999年國家科技進步二等獎。作爲國家攀登計劃首席科學家負責“深亞微米結構器件及介觀物理項目研究。開展了12項課題的研究。爲介觀物理基礎和新結構器件的進一步研究打下基礎
作为工艺负责人研究成功N沟MOS 4K、16K动态随机存储器和成品率的提高。独创了检验接触孔质量的露点检测法。并推广到上海器件五厂。分别获得1980和1981年中科院科技成果一等奖两次。负责平面型高速开关管的研究,独立解决了提高开关速度的关键问题,并推广至上海器件五厂和109厂,为两弹一星采用的109计算机提供器件基础。获国家新产品一等奖。
2004年,獲何梁何利技術科學獎。
人才隊伍