尊龙凯时 - 人生就是搏!



當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 韓曉泉
  • 性別： 男
  • 職稱： 正高級工程師
  • 職務： 
  • 學曆： 博士
  • 電話： 010-82178623
  • 傳真： 
  • 電子郵件： hanxiaoquan@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光電研發中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡　　曆：

  • 教育背景： 

    2000.9－2005.3　中國科學院长春光机所　机械制造及其自动化专业，　工学博士 

    1996.9－2000.7  四川大學　　　　　　　工業自動化專業　　　　　　工學學士 

    工作簡曆： 

    2005.04－2018.10， 中科院光電研究院　助研，副研 

    2018.11－至今， 中科院尊龙凯时　  副研，正高工 

    社會任職：

  • 国家知识产权局學術委員會，中国專利审查技术专家 

    財政部政府采購評審專家

    研究方向：

  • 光電測量、精密控制，信號處理

    承擔科研項目情況：

  • 1. 248nm KrF光刻機曝光光源開發，負責人 

    2. 國家重大專項 40W 4KHz ArF曝光光源産品開發，參與 

    3. 國家重大專項 浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设，参与 

    4．中科院STS項目 248nm曝光光源産業化，負責人 

    5．北京市科委項目 SiC基紫外探測器研制，子課題負責人 

    代表論著：

  • 1. Image Acquisition and Motion positioning system Design Based on the Projection Lens Wavefront Aberration Measurement，2017，SPIE　Advanced Lithography 

    2. A design of energy detector for ArF excimer lasers，2017，SPIE, 

    3. 准分子激光器温度控制系统设计，量子电子学报，2015.

    專利申请：

  • 1. 基于Smith預估補償的准分子激光器溫度控制方法及系統 

    2. 一種激光器中心波長測量的溫漂反饋方法 

    3. 一種准分子激光器能量探測器的能量值標定系統及方法 

    4. 一種准分子激光脈沖能量穩定性控制方法 

    5．基于原子吸收的FP波長計溫漂校准裝置和方法

    獲獎及荣誉：

  • 2009北京市科學技術獎一等獎/排名10 

    2010上海世博會科技攻關成果特別獎/排名第3 

    2017中科院北京分院成果轉化特等獎/排名第9
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