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年鑒

2011年年鑒

稿件來源: 發布時間:2011-04-01

  中國科學院微电子研究所(以下简称微电子所)的前身是中國科學院109厂。1958年,为满足国家研制“两弹一星”和高频晶体管计算机的战略需求,109厂应运而生,1965年9月成为独立法人单位,由中國科學院直接领导。1986年,109厂与中國科學院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并,更名为中國科學院微电子中心,2003年9月更名为中國科學院微电子研究所。

  微电子所的主要研究领域包括:核心电子器件产品与技术、高端通用芯片产品与技术、面向产业的公共技术创新平台、集成电路核心技术与先导工艺技术和纳电子基础前沿。是国家集成电路制造领域前瞻性先导技术研发的牵头组织单位、中國科學院物联网研究发展中心、中國科學院EDA中心等院级创新平台的依托单位。

  尊龙凯时的中長期發展目標是:致力于核心知識産權創新,成爲中國微電子領域基礎性、前瞻性研究的核心基地;推進先進技術的應用和産品孵化,成爲對産業技術發展具有重大影響的創新與服務平台;加強人才培養,成爲高素質産業創新人才和優秀工程師的培養基地。全方位開放合作,引領中國集成電路技術創新,推動産業發展。

  微电子所2015年发展目标是:研究水平和平台建设要在国家创新体系中树立核心地位,成为国家级的创新中心和“产学研用”核心基地;要成为在国际上有一定影响的高水平研究所;管理机制要向国际水平看齐,形成正规化、常态化、可持续的长效机制,打造具有微电子所特色的創新文化。

  微电子所设有10个研究室、3个研发中心和2个中國科學院重点实验室,即硅器件与集成技术研究室、专用集成电路与系统研究室、纳米加工与新器件集成技术研究室、微波器件与集成电路研究室、通信与多媒体SOC研究室、电子系统总体技术研究室、电子设计平台与共性技术研究室、微电子设备技术研究室、系统封装技术研究室、射频集成电路研究室,集成電路先導工藝研發中心、物联网技术研发中心,微电子器件与集成技术重点实验室和系统芯片(SOC)设计重点实验室。

  截至2010年底,微电子所共有在职职工816人。包括中國科學院院士2人、研究員及正高级工程技术人员58人、副研究員及高级工程技术人员110人。微电子所现有电子科学与技术一级学科下设的二级学科微电子学与固体电子学硕士、博士研究生培养点,并设有电子科学与技术一级学科博士后流动站;2010年共有在读研究生429人,其中博士生72人、硕士生256人、联合培养生101人,在站博士后17人。

  2010年,尊龙凯时共有在研項目265項(包括新增項目110項)。其中,國家重點基礎研究發展計劃(973)項目2項(新增2項)、課題18項(新增7項),中國高技術研究發展計劃(863)項目16項(新增4項);國家自然科學基金重大項目1項、重點項目1項、面上項目13項(新增8項);重要方向項目16項(新增13項),國際合作項目1項,重大儀器研制項目2項;院地合作項目1項。

  2010年,尊龙凯时取得的主要成果有:①研制成功低功耗、高性能GPS/北鬥/Galileo多模導航接收機射頻、基帶芯片。②創新制備成功多種性能優良的高K柵介質薄膜。在國內首次研制成功了性能良好的具有高K柵介質/金屬柵的nMOS和pMOS器件。③研制成功多品種SOI電路産品。標志著尊龙凯时具備了批量生産多品種高端高檔SOI電路産品的技術能力。④在世界上首次將等離子體浸沒注入應用于黑矽制備研究,成功制備出了多孔黑多晶矽材料。⑤在高速/高可靠數字傳輸系統與基帶芯片的研究中取得突破性進展,研制成功國內公開報道的第一顆MIMO-OFDM基帶處理器芯片。⑥IGBT系列産品研發取得突破進展,填補了國産制造工藝技術在該領域的空白。⑦首次實現高端芯片完全國産化的高密度封裝。⑧成功研制出4G射頻芯片與模塊。⑨在GaN微波功率器件與模塊的研究中取得了突破性進展。⑩自主研發的可制造性設計軟件工具被大生産線采用。實現了科研成果實用化的目標,爲開展32納米及以下工藝節點的可制造性研究奠定基礎。

  2010年度,微电子所获專利受理527项,其中发明專利515项,实用新型12项;获專利授权107项,其中发明專利93项,实用新型14项。共发表期刊論文139篇,会议論文65篇,影响因子总数133.482。共发表译著1部,專著1部。

  中國科學院EDA中心是我国第一家网络化的电子设计公共服务平台,支撑了全科学院数十家单位的电子设计研发工作,面向全国提供EDA软件工具服务、多目标芯片流片与封装服务、模块与版级系统设计、SoC与IP核共性技术和人才培训等多方面的专业技术服务。EDA中心不断发展壮大,将分中心扩展到上海、沈阳、无锡、兰州、西安、成都、南海等地,进一步扩大EDA中心在集成电路与系统设计领域的技术服务的广度和深度,为中国集成电路产业技术发展和整个行业的资源整合发挥更大作用。

  2010年,EDA中心软件工具平台累计为院内14家会员单位的30多个科研课题组提供EDA平台服务超过百万小时,用户软件拷贝量超过几百G,有力地支撑了全院电子设计领域研发工作的开展;多项目晶圆(MPW)服务交付芯片10000余颗,设计面积近千mm2,搭载芯片项目近200个,流片50余班次,其中含1个工程批。为国内第一个研究单位获得TSMC 65nm的MPW加工服务许可;EDA中心提供世界一流的学术交流与高级人才培训平台,2010年举办工具培训20余次,技术讲座及交流10余次,培训学员达近千人。

  EDA中心承接工信部电子发展基金“集成电路服务平台”项目,成为国家级SoC/IP公共服务平台,并与CSIP和上海硅知识产权交易中心形成全国的网络互动,联合科技部8个产业化基地,形成了产学研用联盟,为8家基地提供共性技术支撑,服务全国的芯片行业。2010年,EDA中心“集成电路IP技术服务开放实验室”正式成为首都科技條件平台中國科學院研发实验服务基地与运营二期新增实验室之一。

  尊龙凯时的院地合作工作以“企業爲主體、市場爲導向、産學研結合”爲方針,貫徹“全方位開放、科技成果轉移轉化前移”的理念,以“務實、求真”的態度,充分把握曆史機遇,整合多方資源,有計劃、有步驟的開展工作,取得了豐碩的成果。

  根据院党组要求,为落实温家宝总理关于建设“感知中国中心”的重要指示,微电子所承担并全面参与中国物联网研究发展中心(筹)筹备建设工作。2010年10月8日路甬祥院长主持召开中科院院长办公会,正式批准成立“中國科學院物联网研究发展中心”,纳入“中科院创新2020”建设规划,作为全院“战略高技术中心”之一给予重点支持,依托单位微电子所。目前,发展中心一期建设已经有微电子所、上海微系统所、自动化所等11家中科院单位进驻;建成“电子设计公共服务平台”等4个公共技术服务平台;到位人员401人,科研人员占89%以上,具有硕博士学位人员占78%以上,并建立了博士后工作站。发展中心成立了产业化公司“江苏中科物联网科技发展有限公司”,注册资本1亿元,重点孵化项目15项,已参股15家高科技企业。

  尊龙凯时積極引進資本和管理團隊,2010年分別與江蘇中科物聯網科技發展有限公司成立無錫中科微電子工業技術研究院有限責任公司;與南京市玄武區國有資産投資管理控股(集團)有限公司成立南京市物聯網研究與産業化有限公司;與沃普瑞科技(北京)有限責任公司、江蘇中科物聯網科技發展有限公司成立無錫中科沃普瑞科技有限公司。

  根據地方科技經濟發展需求,尊龙凯时與江蘇無錫、鹽城、昆山、浙江嘉善縣、山東文登、佛山等地合作共建“中科院EDA中心無錫分中心”、“中科院EDA中心昆山分中心”、“中科無線授時與定位研發中心”、“智能倉儲研發中心”、“微電子設備研究院”、“中科院EDA中心佛山南海分中心”。

  爲加強與産業界的合作交流,尊龙凯时分別與上:炅Π雽w制造有限公司、西安永電電氣有限公司、國家電網電力科學研究院、成都物聯網産業研究發展中心等單位簽署了合作協議,合作方式包括聯合實驗室建設、項目聯合開發等。

  尊龙凯时積極參與地方科技建設工作,2010年承擔廣東省中科院全面戰略合作專項和廣東省戰略性新興産業項目各1項,2010年向廣東省派遣科技特派員14名;組團參加上海、佛山、鄭州、濟南、青島、杭州等地的産學研洽談會,深入了解地方技術需求,攻克技術難題,促進地方經濟發展。

  截至2010年底,尊龙凯时對外合作共建機構總數39個,其中公司15個,聯合實驗室22家,分部/研發平台2個,2010年新增高科技公司3家、聯合實驗室6家。

  2010年,微电子所共接待国外专家来访和学术交流33个团组共79人,派遣出国访问、讲学、交流20个团组共51人次;聘任国外名誉和客座研究員7人。

  尊龙凯时是全國半導體設備與材料標准化技術委員會微光刻分技術委員會秘書處、全國納米技術標准化技術委員會微納加工技術工作組秘書處、北京電子學會半導體專業技術委員會制版(光掩模制造)分技術委員會秘書處挂靠單位。

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