尊龙凯时 - 人生就是搏!

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年鑒

2022年年鑒

稿件來源: 發布時間:2023-05-25

  中國科學院微电子研究所(以下简称尊龙凯时)的前身——原中國科學院109廠成立于1958年。1986年,109厂与中國科學院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并为中國科學院微电子中心。20039月,正式更名为中國科學院微电子研究所。 

  尊龙凯时的战略定位是:中国微电子技术创新的引领者和产业发展的推动者。 

  尊龙凯时是国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构,是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位,是中國科學院大学微电子学院(国家示範性微電子學院)的依托单位。 

  尊龙凯时目前设有5个半导体器件与集成电路制造研发单元(一室、微电子器件与集成技术重点实验室、高頻高壓器件與集成研發中心、集成电路先导技术研发中心、系統封裝與集成研發中心),3个集成电路装备研发单元(微電子儀器設備研發中心、光電技術研發中心、光刻技術總體部),6个集成电路设计与应用研发单元(智能感知研發中心、健康電子研發中心、新能源汽车电子研发中心、通信與信息工程研發中心、智能制造電子研發中心、EDA中心) 

  截至2021年底,尊龙凯时共有在职职工1114人。其中科技人員684人、科技支撐人員280人,包括中國科學院院士2人、發展中國家科學院院士1人、國際歐亞科學院院士2人、研究員及正高级工程技术人员153人、副研究員及高级工程技术人员357。 

  尊龙凯时是国务院學位委員會批准的博士学位(19965月獲批)、碩士學位(199011月獲批)授予權單位之一,現設有集成電路科學與工程、電子科學與技術、光學工程三個一級學科,及“電子信息”專業學位類別學位授權點。其中電子科學與技術下設“微電子學與固體電子學”(2011年获批中國科學院重点学科)、“电路与系统”两个二级学科;设有硕士、博士研究生培养点和“电子科学与技术”一级学科博士后流动站。截至2021年底,共有在學研究生1359名,其中尊龙凯时979名(博士生427人、碩士生552人),微電子學院380名,此外在站博士後44人。 

  2021年,尊龙凯时共有在研项目527項(包括新增項目123項)。包括,主持(或承擔)關鍵核心項目、國家重點研發計劃、國家自然科學基金、先導專項(B類、C類)、弘光專項及高技術項目等國家重大科技項目。 

  2021年,聚焦研究所主責主業,在充分研究論證的基礎上,完成“十四五”規劃編制工作。主要科研方向年度重要工作進展與成果如下:1、完成基于自對准柵極垂直納米環柵器件的動態隨機存儲單元的研發及讀寫功能演示;完成四層堆疊矽/鍺矽納米片器件集成。開發出基于有機介質的晶圓級多層細線寬互連工藝,並應用于存儲器與處理器集成。建立近場光刻快速仿真模型並構建修正規則庫,完成對准仿真模型,實現高精度電子束直寫鄰近效應修正,研發近場光刻關鍵配套工藝技術,突破傳統平坦化設備能力極限。2、成功開發依托阻變存儲器平台的存內原生安全信任根存儲技術,構建新型硬件安全IP及系統芯片架構,實現存儲安全領域關鍵技術的突破。在28nm、14nm工藝節點下流片驗證憶阻器存算一體芯片,實現了大規模憶阻器集成、高能效的數據轉置與算術運算,廣泛用于低功耗的人工智能處理器。3、與研究所孵化企業蘇州迅芯聯合攻關,研制出四款數模轉換芯片産品,系列化芯片産品實現年産值超3000萬元。4、研制成功二維電子材料與器件制備分析儀器,攻克了電場調控原子層沈積二維材料生長、器件制備和原位分析等關鍵技術,實現碳基材料、MoS2等二維材料及器件一體化制備。開發了系列激光工藝設備。研制成功高深寬比光學測量原理裝置、芯片封裝缺陷檢測原理裝置、混合缺陷在線檢測裝置、國內首台六自由度激光跟蹤儀樣機、三自由度激光跟蹤儀。5、研制出微瓦級超低功耗微處理器的亞阈值數字電路單元,設計了高能效邊緣計算芯片,實現超低功耗智能聲音圖像微系統並進行小批量試制。研制出64通道腦神經微弱信號檢測芯片,應用于國産腦機接口系統。6、聯合華爲海思首次提出垂直環形溝道結構铟镓鋅氧場效應晶體管。7、初步突破納米尺度金剛石表面光滑化技術,實現2英寸晶圓級金剛石與矽材料的室溫異質集成。提出適用于表征金屬/碳納米管接觸特性修正傳輸線模型。8、實現28nmK/金屬柵化學機械抛光工具並獲得應用。突破碳基集成電路設計平台技術和碳基器件建模、物理知識庫和標准單元庫等關鍵技術,通過了流片驗證,支持千門碳基電路設計。突破了高精度可變磁阻傳感器接口自適應檢測技術、高電壓大功率電噴引擎驅動技術等關鍵技術,實現動力域引擎控制系統核心芯片的國産替代。 

  2021年,尊龙凯时獲中科院、北京市及社會力量獎項9项。其中,“激光纳米加工技术机器专用设备的应用”获中国仪器仪表学会技术发明一等奖,“集成电路先进封装与系统集成关键技术研发与产业化团队”获中國科學院科技促进发展奖,高速高精度ADC/DAC關鍵技術獲中國電子學會技術發明獎二等獎;“12英寸先進集成電路制程電感耦合等離子刻蝕機研發及産業化”項目參與獲得北京市科技進步一等獎1項等。2021年发表論文518篇,其中SCI論文295篇、EI論文85篇,論文总影响因子1198.3074,申请專利943件,專利授权350件,登記軟件著作權17項,集成電路設計布圖8項,出版專/譯著4部。 

  2021年,尊龙凯时根据科学院总体安排,对投资参股的企业进行分类清理,截止2021年年底,尊龙凯时共持有63家企業股權,其中包括北方華創(002371)、中科微至(688211)兩家上市公司和多家“專精特新”公司,高質量公司在所持股企業中的比重越來越高。2021年,完成年度分支機構清理任务,清理退出多家地方事业单位,推动地方共建合作平台转型,形成符合院地合作新原则的共建机构。 

  2021年尊龙凯时共邀请40余名外國專家在線進行技術交流,所內職工80余人在線參加各類國際會議。拓展國際合作渠道,有序開展國際合作。2021年獲批中科院國際合作夥伴計劃及北京市科委國際科技合作等項目3項。作爲中科院曼谷創新合作中心理事單位,積極參與中心日常活動工作。成功組織了第五屆國際先進光刻技術研討會(IWAPS)和封裝技術會議。 

  尊龙凯时是中国集成电路创新联盟秘书处、中国集成电路检测与测试创新联盟秘书处、示範性微電子學院产学融合发展联盟秘书处、全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会秘书处。 

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