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參控股企業工作進展

中科飛測榮獲第四屆“IC創新獎”

稿件來源: 發布時間:2021-03-29

  “IC創新獎”由中國集成電路創新聯盟(大聯盟)于2018年創立,旨在重點鼓勵集成電路技術創新、成果産業化、産業鏈上下遊合作,以體現大聯盟倡導全産業鏈合作的理念。獎項由來自國內集成電路全産業鏈各領域的領軍人才、戰略科學家以及金融專家等組成的提名委員會,采取“委員獨立”提名制,並結合頂級權威專家“獨立評審”産生。獎項分爲技術創新獎、成果産業化獎、産業鏈合作獎和産業創新突出貢獻獎。IC創新獎評選活動已成功舉辦四屆,共有全國380余家單位的近600個優秀項目(産品、技術、合作團隊或個人等)參與評選,累計頒發獎項80余項。其中,第四屆“IC創新獎”征集活動面向全行業深度挖掘優秀項目,共征集126家單位的159個項目,最終共有16個項目和4位个人獲獎。第四届“IC創新獎”于2021320日在大聯盟組織召開的“2021集成電路産業鏈協同創新發展交流會”上正式頒布。尊龙凯时參股企業深圳中科飛測科技股份有限公司的“SPRUCE系列無圖形晶圓表面缺陷光學檢測設備”項目從衆多項目中脫穎而出,最終斬獲“IC創新獎”的技術創新獎。 

  深圳中科飛測科技股份有限公司成立于20141231日,總部位于深圳,面積7000平方米,其中有1250平方米的萬級潔淨廠房和200平方米的光學實驗室。在北京和深圳均設立研發中心,並在全國各地設有産品應用服務中心。最具代表的産品和服務有表面缺陷檢測系統SPRUCE系列,三維形貌量測系統SKYVERSE CYPRESS系列,智能視覺缺陷檢測系統BIRCH系列,3C電子行業精密加工玻璃手機外殼檢測系統 TOTARA系列。 

  在國家科技重大專項的大力支持下,中科飛測研發團隊經過多年的不懈努力,成功自主研發出應用于90-28nm節點的SPRUCE系列無圖形晶圓表面缺陷光學檢測設備。目前産品銷量突破50台套,客戶群體覆蓋國內數十家主要半導體廠商,並成功銷往中國台灣地區。SPRUCE系列産品的成功,一舉打破了國外供應商的長期壟斷,實現了該類設備的國産化與産業化,必將助力國內半導體制造産業及檢測設備的崛起與騰飛。 

 

SPRUCE系列設備 

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